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 | 半导体设备ETF(159516)基金投资组合(持股) 年份： | | 截止日期 | 股票代码 | 股票名称 | 数量(万股) | 持有市值(万元) | 占基金资产净值比例(%) | | 2025-09-30 | 688012 | 中微公司 | 456.20 | 136400.46 | -- | | 2025-09-30 | 002371 | 北方华创 | 255.25 | 115465.29 | -- | | 2025-09-30 | 300604 | 长川科技 | 465.00 | 46323.51 | -- | | 2025-09-30 | 688126 | 沪硅产业 | 1738.89 | 44863.42 | -- | | 2025-09-30 | 688120 | 华海清科 | 260.65 | 43060.06 | -- | | 2025-09-30 | 688072 | 拓荆科技 | 148.75 | 38701.15 | -- | | 2025-09-30 | 300346 | 南大光电 | 727.04 | 31567.95 | -- | | 2025-09-30 | 688019 | 安集科技 | 121.90 | 27846.81 | -- | | 2025-09-30 | 688361 | 中科飞测 | 233.40 | 27081.60 | -- | | 2025-09-30 | 688037 | 芯源微 | 168.41 | 25093.60 | -- | | 2025-09-30 | 002409 | 雅克科技 | 300.82 | 22185.70 | -- | | 2025-09-30 | 605358 | 立昂微 | 568.03 | 18540.36 | -- | | 2025-09-30 | 600206 | 有研新材 | 626.04 | 14110.94 | -- | | 2025-09-30 | 600641 | 先导基电 | 641.21 | 14106.62 | -- | | 2025-09-30 | 300655 | 晶瑞电材 | 880.61 | 13517.31 | -- | | 2025-09-30 | 603650 | 彤程新材 | 253.89 | 11219.40 | -- | | 2025-09-30 | 603690 | 至纯科技 | 281.15 | 8589.06 | -- | | 2025-09-30 | 688549 | 中巨芯-U | 624.63 | 6196.36 | -- | | 2025-09-30 | 688233 | 神工股份 | 107.54 | 5459.56 | -- | | 2025-09-30 | 688432 | 有研硅 | 391.76 | 5347.46 | -- | | 2025-09-30 | 603078 | 江化微 | 246.37 | 5114.70 | -- | | 2025-09-30 | 002119 | 康强电子 | 268.34 | 4733.44 | -- | | 2025-09-30 | 600520 | 三佳科技 | 136.53 | 3848.78 | -- | | 2025-09-30 | 003026 | 中晶科技 | 65.37 | 2468.52 | -- | | 2025-09-30 | 688775 | 影石创新 | 0.06 | 16.65 | -- | | 2025-09-30 | 688729 | 屹唐股份 | 0.35 | 10.43 | -- | | 2025-09-30 | 603049 | 中策橡胶 | 0.07 | 3.66 | -- | | 2025-09-30 | 301678 | 新恒汇 | 0.04 | 3.13 | -- | | 2025-09-30 | 603202 | 天有为 | 0.02 | 1.64 | -- | |
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