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 | 半导体设备ETF(561980)基金投资组合(持股) 年份： | | 截止日期 | 股票代码 | 股票名称 | 数量(万股) | 持有市值(万元) | 占基金资产净值比例(%) | | 2025-06-30 | 002371 | 北方华创 | 29.00 | 12824.44 | -- | | 2025-06-30 | 688012 | 中微公司 | 69.15 | 12605.99 | -- | | 2025-06-30 | 688981 | 中芯国际 | 97.22 | 8572.21 | -- | | 2025-06-30 | 688041 | 海光信息 | 45.47 | 6423.76 | -- | | 2025-06-30 | 688256 | 寒武纪-U | 10.05 | 6044.53 | -- | | 2025-06-30 | 688120 | 华海清科 | 27.27 | 4600.36 | -- | | 2025-06-30 | 300346 | 南大光电 | 113.76 | 3599.49 | -- | | 2025-06-30 | 688072 | 拓荆科技 | 22.81 | 3506.28 | -- | | 2025-06-30 | 300604 | 长川科技 | 72.58 | 3259.57 | -- | | 2025-06-30 | 688361 | 中科飞测 | 36.69 | 3088.70 | -- | | 2025-06-30 | 688019 | 安集科技 | 19.30 | 2929.68 | -- | | 2025-06-30 | 688126 | 沪硅产业 | 135.37 | 2534.19 | -- | | 2025-06-30 | 688200 | 华峰测控 | 13.37 | 1928.31 | -- | | 2025-06-30 | 688082 | 盛美上海 | 14.59 | 1662.45 | -- | | 2025-06-30 | 688037 | 芯源微 | 13.23 | 1418.02 | -- | | 2025-06-30 | 300666 | 江丰电子 | 17.32 | 1283.41 | -- | | 2025-06-30 | 002409 | 雅克科技 | 23.33 | 1275.92 | -- | | 2025-06-30 | 605358 | 立昂微 | 44.05 | 1026.37 | -- | | 2025-06-30 | 688234 | 天岳先进 | 14.17 | 829.74 | -- | | 2025-06-30 | 300236 | 上海新阳 | 17.94 | 696.07 | -- | | 2025-06-30 | 688409 | 富创精密 | 12.56 | 691.05 | -- | | 2025-06-30 | 301611 | 珂玛科技 | 9.87 | 542.95 | -- | | 2025-06-30 | 600206 | 有研新材 | 24.27 | 463.80 | -- | | 2025-06-30 | 688146 | 中船特气 | 13.06 | 377.60 | -- | | 2025-06-30 | 688652 | 京仪装备 | 6.55 | 375.57 | -- | | 2025-06-30 | 300655 | 晶瑞电材 | 34.95 | 349.85 | -- | | 2025-06-30 | 688584 | 上海合晶 | 16.20 | 289.73 | -- | | 2025-06-30 | 603690 | 至纯科技 | 10.94 | 273.44 | -- | | 2025-06-30 | 603061 | 金海通 | 3.13 | 264.64 | -- | | 2025-06-30 | 688549 | 中巨芯-U | 24.16 | 186.98 | -- | | 2025-06-30 | 002119 | 康强电子 | 10.65 | 182.01 | -- | | 2025-06-30 | 688535 | 华海诚科 | 2.11 | 181.23 | -- | | 2025-06-30 | 603078 | 江化微 | 9.69 | 180.62 | -- | | 2025-06-30 | 688432 | 有研硅 | 15.51 | 171.28 | -- | | 2025-06-30 | 600520 | 三佳科技 | 5.13 | 149.85 | -- | | 2025-06-30 | 688233 | 神工股份 | 4.45 | 141.22 | -- | | 2025-06-30 | 301369 | 联动科技 | 2.45 | 131.59 | -- | | 2025-06-30 | 003026 | 中晶科技 | 2.83 | 101.74 | -- | | 2025-06-30 | 688720 | 艾森股份 | 2.30 | 98.36 | -- | | 2025-06-30 | 688478 | 晶升股份 | 3.00 | 91.90 | -- | | 2025-06-30 | 688775 | 影石创新 | 0.06 | 9.65 | -- | | 2025-06-30 | 688411 | 海博思创 | 0.06 | 4.77 | -- | | 2025-06-30 | 688545 | 兴福电子 | 0.10 | 2.71 | -- | | 2025-06-30 | 301458 | 钧崴电子 | 0.07 | 2.41 | -- | | 2025-06-30 | 301275 | 汉朔科技 | 0.04 | 2.32 | -- | | 2025-06-30 | 301678 | 新恒汇 | 0.04 | 2.26 | -- | | 2025-06-30 | 688583 | 思看科技 | 0.02 | 1.85 | -- | | 2025-06-30 | 603049 | 中策橡胶 | 0.04 | 1.79 | -- | | 2025-06-30 | 301501 | 恒鑫生活 | 0.03 | 1.72 | -- | | 2025-06-30 | 301602 | 超研股份 | 0.07 | 1.66 | -- | | 2025-06-30 | 001388 | 信通电子 | 0.09 | 1.54 | -- | | 2025-06-30 | 301535 | 浙江华远 | 0.07 | 1.53 | -- | | 2025-06-30 | 301479 | 弘景光电 | 0.02 | 1.53 | -- | | 2025-06-30 | 688757 | 胜科纳米 | 0.05 | 1.51 | -- | | 2025-06-30 | 301662 | 宏工科技 | 0.01 | 1.51 | -- | | 2025-06-30 | 301658 | 首航新能 | 0.04 | 1.34 | -- | | 2025-06-30 | 688758 | 赛分科技 | 0.08 | 1.33 | -- | | 2025-06-30 | 603202 | 天有为 | 0.01 | 1.31 | -- | | 2025-06-30 | 603072 | 天和磁材 | 0.02 | 1.24 | -- | | 2025-06-30 | 301665 | 泰禾股份 | 0.04 | 1.20 | -- | | 2025-06-30 | 301601 | 惠通科技 | 0.03 | 1.19 | -- | | 2025-06-30 | 301590 | 优优绿能 | 0.01 | 1.17 | -- | | 2025-06-30 | 001356 | 富岭股份 | 0.07 | 1.03 | -- | | 2025-06-30 | 688755 | 汉邦科技 | 0.02 | 0.95 | -- | | 2025-06-30 | 301173 | 毓恬冠佳 | 0.02 | 0.80 | -- | | 2025-06-30 | 001382 | 新亚电缆 | 0.04 | 0.78 | -- | | 2025-06-30 | 603014 | 威高血净 | 0.02 | 0.75 | -- | | 2025-06-30 | 301595 | 太力科技 | 0.02 | 0.75 | -- | | 2025-06-30 | 301636 | 泽润新能 | 0.01 | 0.72 | -- | | 2025-06-30 | 301560 | 众捷汽车 | 0.02 | 0.67 | -- | | 2025-06-30 | 603210 | 泰鸿万立 | 0.03 | 0.60 | -- | | 2025-06-30 | 603271 | 永杰新材 | 0.01 | 0.46 | -- | | 2025-06-30 | 603124 | 江南新材 | 0.01 | 0.43 | -- | | 2025-06-30 | 603257 | 中国瑞林 | 0.01 | 0.41 | -- | | 2025-06-30 | 001390 | 古麒绒材 | 0.02 | 0.41 | -- | | 2025-06-30 | 001395 | 亚联机械 | 0.01 | 0.38 | -- | | 2025-06-30 | 603409 | 汇通控股 | 0.01 | 0.34 | -- | | 2025-06-30 | 603382 | 海阳科技 | 0.01 | 0.33 | -- | | 2025-06-30 | 603400 | 华之杰 | 0.01 | 0.33 | -- | | 2025-06-30 | 001335 | 信凯科技 | 0.01 | 0.31 | -- | | 2025-06-30 | 603120 | 肯特催化 | 0.01 | 0.29 | -- | |
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